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PI六軸精密壓電平臺P-587 用于X、Y、Z、θX、θY、θZ向上的定位和 掃描 線性行程為800 微米×800 微米×200 微米 大旋轉(zhuǎn)角度達(dá)1微弧度

PI（Physik Instrumente）六軸精密壓電平臺 德國PI公司是運(yùn)動(dòng)和定位領(lǐng)域的解決方案供應(yīng)商。PI不僅開發(fā)和生產(chǎn)各種定位平臺和執(zhí)行器

PI P-562.6CD PIMars六軸壓電平臺系統(tǒng) 6個(gè)運(yùn)動(dòng)軸：3個(gè)為線性，3個(gè)為旋轉(zhuǎn) 行程達(dá)200微米（線性）和1毫弧度（偏 擺角）

PI PicoCube XY（Z）壓電掃描儀-北京漢達(dá)森 自動(dòng)配置和快速部件更換 機(jī)械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)均存儲在機(jī)械部件的SubD連接器的ID芯片中。每當(dāng)控制器啟動(dòng)時(shí)，數(shù)字控制器的自動(dòng)校準(zhǔn)功能就會使用這些數(shù)據(jù)。

*PI PicoCube XY（Z）壓電掃描儀 并聯(lián)測量技術(shù)可實(shí)現(xiàn)導(dǎo)向誤差的自動(dòng)化 補(bǔ)償 分辨率50皮米 行程5微米×5微米×5微米 真空兼容版本